經濟部工業局，自民國94年起透過再生能源設備產業專案推動及主導性新產品開發輔導計畫，協助國內設備商投入矽晶圓太陽光電產品相關生產設備開發。
相關設備發展如下：
中部大廠評估研製線鋸機，切方機用於切除多晶矽晶碇鑄胚外圍六個表面的胚皮，並依需求將晶碇鋸切成所要的尺寸。國內並無廠商生產切方機，透過專案計畫推動，已有中部放電加工機大廠正評估是否研製單線線鋸機 (Single wire Saw)，以應用於多晶矽晶碇鑄胚外圍六個表面的胚皮；投入開發線鋸機 (或稱多線線鋸機，Multi-wire Saw）；針對太陽電池所需的清洗槽系統，雖仍無製造廠商，但敘豐、弘塑、嵩展等公司都具發展潛力。
嵩展、均豪(會員編號:B0121)、華康發展酸鹼槽，太陽電池段設備，嵩展公司於半導體用Batch Type酸鹼槽系統已有豐富經驗，亦已銷售成功多部Batch Type酸鹼槽系統給國內太陽能電池廠使用。但新一代太陽電池設備已轉向使用In-line Type酸鹼槽系統，均豪、華康等公司都已和太陽電池廠接洽，積極投入In-line Type酸鹼槽系統開發。
台達電、均豪、廣運(會員編號:B0279) 研發電池測試機，太陽電池製作完成後，必須以模擬太陽光的光源照射，來測試其光電轉換效率，並依據測試結果予以分級，電池測試與效率分級機就是用來執行此一作業的設備。國內台達電、均豪、廣運已投入發展電池測試與效率分級機，未來國內將會有國產的電池測試與效率分級機，可以取代進口。
