• 鎢(Tungsten)量產新製造方法
  
  在世界上，日本首次開發使用以高溫高壓將鎢淬煉成固體手法的成型加工技術，能夠輕易對應大型且形狀複雜的半導體設備，和以往的產品比較屬高密度，強度可以較以往增加了2成，除降低材料的浪費，也降低2成以上的製造費用。
  
  鎢為世上產量稀少金屬中的一種，需要使用切削和開孔用的超硬工具和燈泡的燈絲，特殊鋼用的添加劑等，從1980年代開始約20年間，因為行情低落，加拿大等國縮小生產，其結果變成低成本的中國佔世界產能的8成左右。
  
  首先是將數種類不同大小和形狀的鎢粉混合，然後以壓力壓成固體後在最後，在超過攝氏1000度的高溫中，由周圍平均1千氣壓的超大壓力下以一種叫「熱間等方壓press」(HIP)的方式淬煉後成型加工，以往的手法是從粉末狀態變成固體的鎢使用直接電流讓它變成固體後(通電淬煉)再鍛造的二種方式比較，新手法不需要使用大電流的淬煉設備，所以可降低成本。
  
  從事先整形的狀態到淬煉成固體總產量比率大幅提升，比以往的加工費降低2~4成，材料費也降低1~3成左右。鍛造方式在材料的內側及外側方面密度可以不一定，但是缺點是加工和長期使用下容易破裂，新手法的密度每台都很平均，標示材料純度的相對密度比以往產品的97%提升到99，5%，其結果可減少材料內部微小的間隙，強度也上昇二成左右。
  
  配合客戶高強度和高放電特性的要求，錸(Rhenium)，鈰(Cerium)等合金製作的材料也比較容易開發了，可以預期使用在主要半導體製造設備的部品和研究設備用的電漿容器等用途。

(取材自：日經產業新聞)